浜松ホトニクスは，開放型X線源として，管電圧300kVで分解能4μmの高解像度を実現したX線非破壊検査用途における微小焦点X線源「300kVマイクロフォーカスX線源」を開発した。各種部品の欠陥検査などの用途に向け，国内外のX線検査装置メーカや部品メーカなどに来年夏頃の発売を予定している。

開放型X線源は，真空ポンプでX線管球を真空に維持する方式で，電子源のフィラメントから発生した熱電子を電磁コイルで収束し，金属ターゲットに衝突させてX線を発生させるもの。主に工業用X線CTシステムのX線源として用いられ，透視やCT撮影によって，電子基板や部品，機械，鋳物部品などの内部構造，欠陥などを検出する。

この開発品は，高出力開放型X線源で困難とされていた高圧電源一体型で管電圧300kV を実現したことで，高圧ケーブルのメンテナンスが不要となる。さらに，高電圧でも高出力安定化動作を実現し，検査スピードの高速化や大型部品の微小欠陥の検出にも有用。特に，分解能4μmの高解像度，安定したX線量，焦点移動が少ないことが必要条件とされるCT撮影で鮮明な拡大画像を可能にする。

また，消耗品の交換が容易で，電子ビームを所望の位置に移動する電子ビームアライメント機能，慣らし運転のためのウォーミングアップ機能が自動化され操作性に優れている。さらに外部制御機能としてRS-232Cインタフェースを標準装備している。

この開発品により，従来から管電圧が低いX線源が用いられているスマートフォン，タブレット端末などの小型電子部品の検査に加え，自動車用のアルミ鋳物や鉄部品，航空機関連の大型機械部品ほか，大型電子部品などの内部構造や巣，クラックの非破壊検査精度が向上する。

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