ギガフォトンは，同社の450mmウェハ・マルチパターニング対応液浸露光装置向けArFエキシマレーザ「GT64A」の初号機を露光機メーカへ出荷したと発表した。

世界最高レベルのレーザ発振効率をベースに，450mmウェハ・マルチパターニング露光においても高いスループットを可能にする120Wの大出力を実現。出力の自動可変にも対応しており，顧客のプロセスに応じた最適な光量を供給する。

また，マルチパターニング露光において重要となる，高いパターン重ね合わせ精度（オーバーレイ）の実現，クリティカルディメンジョンの制御，そしてラインエッジラフネスの低減のため，全出力領域に渡り，高い安定性（エネルギー，スペクトル，ビーム形状）と長いパルス幅を達成している。更に，開発コンセプトを「環境負荷低減」に置き，電気，ガス，冷却リソースの設備コストを極限まで抑制した。

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