ギガフォトンは，EUV露光用LPP光源（以下LPP光源）において，2時間の連続稼働を確認したと発表した。これは，同社にて開発中のプロトタイプLPP光源にて達成されたもの。
同社はプロトタイプLPP光源にて，すず（Sn）ターゲット（ドロップレット）に対し，ダブルパルス（固体レーザによるプリパルスと炭酸ガス（CO2）レーザーによるメインパルス）を照射する事でEUV発光させ，デブリミティゲーションとして，磁場を使ったデブリ除去，H2ガスを用いたSnエッチングを組み合わせる事により，LPP光源システムとしての稼働を確認している。
このLPP光源技術は，微小ドロップレットを必要な時にのみ供給するオンデマンド供給であるため，ドロップレートジェネレータの寿命を延長させ，コストとダウンタイムの削減を可能にする。
今回，平均出力として5W，CE 2%のEUV発光を確認した。現状の市場におけるEUV光源出力は10W程度で，今回の連続稼動出力は，プレプロダクションに適用可能なレベルでのシステムの連続稼働成功として重要なマイルストーンだとしている。同社は今後さらなる開発を進める事で，最終的に250Wを達成する予定。
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