島津製作所は、結晶シリコン型太陽電池セル生産における電極印刷プロセス向けに電極検査装置「SCI-8P」を6月20日に発売する。この装置は、業界最高レベルの高分解能の撮影システムによる微細電極の検査が可能で、また電極検査とウエハ外観検査を1台で同時に、かつ業界最速レベルの測定時間で実施することができる。価格は1000万円。

近年、高変換効率化のために電極の微細化が進んでいることに対応するべく、業界最高レベルの高分解能カメラ（35μm／pixel）と独自画像処理技術を組み合わせた本製品を開発した。太陽電池の変換効率の低下につながる電極の太り・細りや断線などの欠陥、印刷位置のズレなどを早期発見し、ライン停止による長期の生産中断の防止や歩留まりの向上に効果を発揮する。

また、電極の太り・細りや断線等を検査する「電極検査」、ウエハ外形部の割れまたは突起、反射防止膜のパーティクル、膜厚および分布測定などのウエハ外観を検査する「外観検査」を1台で同時に、かつ業界最速レベルとなる測定時間1秒／枚以下で実施することができる。

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