島津製作所は，結晶シリコン型太陽電池セル生産プロセス向けに，反射防止膜成膜装置「MCXS」および検査装置「SCI」シリーズ2機種を発売した。メガソーラー等の太陽光システム全体の出力を低下させるとして大きな問題になっているPID（Potential Induced
Degradation：電圧誘起出力低下）に対して高い耐性をもつ太陽電池を実現する。

「MCXS」は，開発のホローカソードプラズマソースおよびダイレクトプラズマの採用により，高スループットで低ランニングコスト，かつ高いPID耐性を有する反射防止膜を成膜するプラズマCVD装置。高密度プラズマが基板の表面や内部に存在する結晶欠陥を修復し，太陽電池の特性を改善させ，高変換効率化にも寄与する。

「SCI-8SM」および業界最小サイズ^*外観検査装置「SCI-8S」は，マイクロクラックとウエハ外観の1台同時検査を可能にした複合検査装置。ライン停止による長期の生産中断の防止や，歩留まりの向上に効果を発揮する。

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