日立ハイテク，次世代複合型プローブ顕微鏡を発売

2013年02月25日 カテゴリ：ニュース ,製品・開発品

日立ハイテクサイエンスは，シームレス観察・クロスチェック・多点測定を実現した，白色干渉縞測定機能搭載の走査型プローブ顕微鏡複合機「AFM5400L」を発売する。

SPMと白色干渉縞測定器の機能を複合化させることで，1mm程度の広視野範囲から数nmレベルの狭視野範囲までを，シームレスで高さ方向分解能0.01nmという分解能での測定を実現。さらに，両装置の異なる原理の測定機能を複合化させることによって同一測定ポイントのクロスチェックを可能にし，測定データの信頼性向上を実現した。

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また，電動ステージに8インチ試料台を搭載することによって，大型試料の非破壊測定や，複数の小さな試料を設置しての多サンプル自動測定を可能にている。

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