光関連技術

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東京エレクトロンデバイスとスミックス,薄膜ムラ検出アルゴリズムを共同開発

東京エレクトロンデバイスとスミックス,薄膜ムラ検出アルゴリズムを共同開発

東京エレクトロン デバイス(TED)は ,スミックスと液晶パネルなどの成膜工程で発生する薄膜ムラの自動検出アルゴリズムの共同開発に合意したと発表した(ニュースリリース)。 薄膜ムラに対する新たな検出アルゴリズムを搭載した […]