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三菱重工,常温ウェーハ接合装置による接合サービス事業を開始

三菱重工,常温ウェーハ接合装置による接合サービス事業を開始

三菱重工業は,自社開発の常温ウェーハ接合装置を使って,社外からの依頼に応じて多様な素材同士を接合する,ウェーハ接合サービス事業を開始した(ニュースリリース)。 常温接合は,イオンビームや原子ビームを真空中で照射することに […]