日本レーザー,213nm DUV QスイッチLD励起レーザを発売

日本レーザーは,独国Xiton Photonics社のDUV Qスイッチ LD励起レーザ モデル「IMPRESS-213」の販売を開始した(プレスリリース)。概算価格は約1570万円。

IMPRESSシリーズは,高繰返し周波数のLD励起Qスイッチレーザ。低メンテナンスで連続運転可能なシステムであるため,特に産業用途に適している。波長は従来は224nmのみだったが,新たに213nm,150mW出力モデルが発売された。

この製品は,TEM00,M2 < 1.6の高品質なビームプロファイルで,測量用途や半導体やディスプレイ・リペアなどの微細加工に最適。またAr+レーザの代替システムとしても使用できる短波長ビームで,直接描画用途では1μm未満のストラクチャにも対応できる。

パルス幅は7ns未満。RS-232インタフェースによる完全PC制御が可能なほか,他の外部トリガーモードによるコントロールも可能。

主な仕様は以下の通り。
波長 213 nm
平均出力 150 mW
パルス幅 < 7 ns パルスエネルギー > 15μJ
繰返し周波数 0.1~30 kHz
M2 < 1.6