オムロンは，最先端の熱式MEMSフローセンサチップを用いた「MEMS差圧センサ」を開発，3月21日より発売を開始する。空調機器では，規制強化や対環境性に配慮したエネルギーマネジメントに対する認識が高まっており，BEMS，HEMSなどでは各エネルギー状況の監視，きめ細かな空調制御，換気制御のために，高精度なセンサが求められていた。

流量計測において一般的に使用されている静電容量方式やピエゾ方式などの差圧センサに比べ，このセンサは熱フロー方式であるため計測範囲が広く，低圧力域での感度と再現性に優れている。さらに，内蔵するASICによりデジタル補正（直線補正，温度補正）を実施しているため，従来のアナログ出力タイプでは実現できなかった高精度かつ温度の影響を低減した差圧計測ができる。さらに26×22×18mmの小型パッケージサイズを実現。システムの小型化にも貢献する。

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