1.はじめに

シリコンフォトニクスは，次世代の通信インフラを支える重要技術として，大きな注目を集めている。次世代通信インフラにおいては，光集積回路の小型化，大規模集積化，高速化，低消費電力化，多機能化が求められる。これらの要求の実現に向けたキーテクノロジーとして，シリコンフォトニクスプラットフォーム上への異種材料集積が有望視されている。例えば，化合物半導体は，高品質な結晶成長が可能であり，量子井戸，量子ドット等の量子構造に基づく量子エレクトロニクス技術を使用することができるため，シリコン材料では実現が困難な優れた光源，光増幅器，光変調器，受光器を実現可能である。また，磁気光学材料は，非相反移相効果によって，シリコン材料では実現が困難な光アイソレータを実現可能である。

本稿では，シリコンフォトニクスプラットフォーム上への異種材料集積技術の発展を支える基盤技術である異種材料集積に向けたシリコンフォトニクスプラットフォームとウエハレベルテスティングについて述べる。