コヒレント・ジャパンは,新製品のkWクラス対応の超高速パワーセンサー「PoweMax-Pro kW」と,2017年6月以降に日本市場に投入予定の全固体ナノ秒レーザーをOPIE’17で発表する。
kWクラス対応の超高速パワーセンサーは,3kWまでの平均パワーの測定が可能で,これまでのサーモパイル型センサーでは光の多くが散乱していたが,このセンサーでは入射窓からの反射を1%以下に抑える。さらに応答性は従来,kWクラスの出力の測定には60秒程度かかっていたが,20μsという高速化も実現している。
測定エリアは,約30mm角。同社製パワーメーター「LabMax-Pro SSIM」と組み合わせることで,RF励起CO2レーザー,ロングパルスレーザーなどのパルス幅,パルスシェープの解析やエネルギー測定も可能にする。
今回,OPIE’17ではこの超高速パワーセンサーとともに,全固体ナノ秒レーザーを参考出展する。一つは全固体パルスパルスUVレーザー「AVIA LX」で,導入コストを抑えた廉価モデルだ。波長は355nmで,出力は20W@50kHz(400μJ),パルス幅は30ns@50kHz,ビームモードはTEM00(M2<1.2)の仕様。コントローラーと一体型となっている。
もう一つは高出力LD励起Nd:YAGレーザー「Vulcan」で,基本波で450W@10kHz(45mJ),532nmで200W@15kHz(13mJ),355nmで150W@10kHz(15mJ)の仕様で,いずれもマルチモードタイプ。Dualモデルでは1600W@1064 nm,800W @ 532 nm,300W @ 355 nmの対応も相談可能としている。