第8世代

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キヤノン，FPD露光装置を発売

キヤノンは，第8世代ガラス基板（2,200×2,500mmサイズのガラス基板）に対応したFPD（フラットパネルディスプレー）露光装置の新製品として，1.5µm（L／S）の解像力と±0.35µmの重ね合わせ（オーバーレイ）...
2022.07.26
ニコン，8G対応FPD露光装置を発売

ニコンは，多様な高精細パネルの生産が可能な，第8世代プレートサイズ対応のFPD露光装置「FX-88S」を発売すると発表した（ニュースリリース）。スマートデバイスやハイエンドモニターなどに用いられる中小型パネルは，折り畳...
2022.04.05

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