白色干渉計

白色干渉計の記事一覧

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  • Micro-Epsilon,ウエハー用白色干渉計システム発売

    Micro-Epsilon JapanはinterferoMETERシリーズ「IMS5420-24TH」の販売を開始した(製品ページ)。 この製品は,計測波長を短波長側に見直すことにより,ハイドープ(P++)のウエハーの...

    2024.07.25
  • Micro-Epsilon Japan,白色干渉計システムを発売

    Micro-Epsilon JapanはinterferoMETERシリーズ「IMS5600-DS」の販売を開始した(製品ページ)。 コンパクトなプローブ内にリファレンスを持った白色干渉方式の測長器で,手軽に0.03nm...

    2020.09.09

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