機械的非線形性

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  • 農工大ら,MEMSの機械的非線形性を熱で低減

    東京農工大学,北京工業大学,東京大学は,MEMS素子の機械的非線形性を熱効果により低減し,素子の信号対雑音比を10倍以上増大させることに成功した(ニュースリリース)。 MEMSはスマホの加速度センサや赤外線センサをはじめ...

    2021.10.29

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