原子層堆積

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  • ウシオ,ALD成膜装置(原子層堆積装置)の販売を開始

    ウシオ電機は,フィンランドPicosun Oy(ピコサン)と日本における販売代行契約を締結し,ピコサンのALD成膜装置(原子層堆積装置)の販売を開始した(ニュースリリース)。 近年,MEMS分野を中心に高アスペクト比や微...

    2017.12.12

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