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フォトリソグラフィ

フォトリソグラフィの記事一覧

全5件中 1〜5件目を表示

  • 東工大ら，線幅7.6nmの半導体が可能な共重合体開発

    東京工業大学と東京応化工業は，電子デバイスの高性能化を志向した10nm以下の半導体微細加工を可能にする高分子ブロック共重合体の開発に成功した（ニュースリリース）。 近年の人工知能やクラウドサービスの目覚ましい発展，スマー...

    2024.08.27

  • 立命大，銅の微細構造を簡易形成する加工技術を開発

    立命館大学の研究グループは，銅の微細パターンを簡易的かつ高速に形成する加工技術の開発に成功した（ニュースリリース）。 銅は，その優れた電気特性から半導体素子の配線に広く使用されている。銅の微細パターンを形成するため，フォ...

    2024.01.26

  • 凸版，フォトリソでマイクロ流路を作製

    凸版印刷は，ガラス製マイクロ流路チップのフォトリソグラフィ工法による製造技術を開発した（ニュースリリース）。 近年，血液などの体液サンプルを用いて，がんの超早期発見を可能とするリキッドバイオプシー検査が注目を集めている。...

    2021.10.12

  • 芝浦工大，光照射で銅微細配線をフッ素樹脂に形成

    芝浦工業大学の研究グループは，光照射を利用したフッ素樹脂上への簡便な銅微細配線形成技術を開発した（ニュースリリース）。 5Gサービスが開始するなど，情報の大容量化と高速伝送が飛躍的に発展し，スマートフォンなど各デバイスは...

    2020.04.01

  • 北大ら，フォトリソの感度を上げる添加剤を発見

    北海道大学と大阪大学は，ナノ構造体形成についての研究の成果として，半導体製造用材料であるレジスト材料の加工性能を大幅に改善する方法の開発に成功した（ニュースリリース）。 現在のフォトリソグラフィプロセスでは，化学増幅型レ...

    2016.12.21

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