金属配線

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  • 理研,マイクロ流体素子内部に金属配線をレーザーで作成

    理化学研究所(理研)の研究グループは,フェムト秒レーザーを用いて,ガラスマイクロチップ内部の3次元マイクロ流体構造へ自在に金属薄膜を堆積させることで金属配線を施す技術を開発した(ニュースリリース)。 そして,この技術で作...

    2017.02.28

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