半導体検査装置

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  • 日立ハイテク,パターンなしウエハー検査装置を発売

    日立ハイテクは,パターンなしウエハー表面および裏面の異物や欠陥を検査する「LS9300AD」を発売すると発表した(ニュースリリース)。 パターンなしウエハー表面および裏面検査は,ウエハー出荷・受け入れ時の品質保証やさまざ...

    2024.03.15

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