トレーサブル

産総研，ウエハ厚を高精度に測定する干渉計を開発

産業技術総合研究所（産総研）は，長さの国家標準にトレーサブルに試料厚さを測定できる厚さ測定用両面干渉計を開発し，シリコンウエハの厚さ測定に応用した（ニュースリリース）。 非接触の厚さ測定には，シリコンを透過する赤外光を用...

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