名大,ナノシートの自動かつ高速な成膜法を開発

名古屋大学の研究グループは,酸化物,グラフェン,窒化ホウ素などの二次元物質(ナノシート)を,1分程度の短時間で基板上に隙間なく配列して薄膜を作製する新技術「高速薄膜作製法」を開発した(ニュースリリース)。 グラフェンや無 … 続きを読む 名大,ナノシートの自動かつ高速な成膜法を開発