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小形分光器スペクトロメイト
SPG-120
SPG-120-REV
特長
コンパクト:小設置面積で分解能1nm(S/UV)、2nm(IR)を実現
波長範囲 190~2500nm:波長範囲ごとに3種をラインナップ
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研究 / 開発にオススメ
- 高い自由度:用途に合わせたシステム構築・組換え可能
- 手動/PC駆動切替:SPG-120は用途に応じた駆動方式を選択可能
品質管理 / 検査 / 装置組込みにオススメ
- 生産性向上:SPG-120-REVの高速波長駆動が貢献
- ランニングコスト低減:SPG-120-REVの高耐久性が貢献
小形分光器スペクトロメイトの応用例
波長可変単色光源
- 光検出素子・カメラセンサの分光感度特性の評価
- 蛍光体の励起波長の評価
- 光硬化樹脂の硬化波長の評価
- 紫外波長の殺菌・ウイルス不活化効果の評価
光学特性測定
- 大面積の光学素子やライトガイドなど特殊形状サンプルの透過率・反射率測定
- LED・レーザの発光スペクトル測定
- 成膜プロセスの膜厚変化のモニタ
- ドライエッチングプロセスのエンドポイント検出
主な仕様
型名 | SPG-120UV | SPG-120S | SPG-120IR |
SPG-120UV-REV | SPG-120S-REV | SPG-120IR-REV |
波長範囲 | 190nm~700nm | 200nm~900nm | 700nm~2500nm |
分解能 | 1nm | 2nm |
焦点距離 | f=122.6mm |
明るさ | F=3 |
波長正確さ | ±1.5nm | ±2.5nm |
繰り返し波長精度 | ±0.3nm | ±0.5nm |
※型名上段は手動波長設定可能タイプ、下段は高速波長駆動タイプ
※大きさは、型名上段:100×110×181mm、下段:100×160×187mm
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