小形分光器スペクトロメイト
SPG-120
SPG-120-REV

特長

コンパクト:小設置面積で分解能1nm(S/UV)、2nm(IR)を実現
波長範囲 190~2500nm:波長範囲ごとに3種をラインナップ

研究 / 開発にオススメ

  • 高い自由度:用途に合わせたシステム構築・組換え可能
  • 手動/PC駆動切替:SPG-120は用途に応じた駆動方式を選択可能

品質管理 / 検査 / 装置組込みにオススメ

  • 生産性向上:SPG-120-REVの高速波長駆動が貢献
  • ランニングコスト低減:SPG-120-REVの高耐久性が貢献

小形分光器スペクトロメイトの応用例

波長可変単色光源

  • 光検出素子・カメラセンサの分光感度特性の評価
  • 蛍光体の励起波長の評価
  • 光硬化樹脂の硬化波長の評価
  • 紫外波長の殺菌・ウイルス不活化効果の評価

光学特性測定

  • 大面積の光学素子やライトガイドなど特殊形状サンプルの透過率・反射率測定
  • LED・レーザの発光スペクトル測定
  • 成膜プロセスの膜厚変化のモニタ
  • ドライエッチングプロセスのエンドポイント検出

主な仕様

型名SPG-120UVSPG-120SSPG-120IR
SPG-120UV-REVSPG-120S-REVSPG-120IR-REV
波長範囲190nm~700nm200nm~900nm700nm~2500nm
分解能1nm2nm
焦点距離f=122.6mm
明るさF=3
波長正確さ±1.5nm±2.5nm
繰り返し波長精度±0.3nm±0.5nm

※型名上段は手動波長設定可能タイプ、下段は高速波長駆動タイプ
※大きさは、型名上段:100×110×181mm、下段:100×160×187mm

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波長可変単色光源 反射/透過/吸光スペクトル計測 その他
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