レーザ加工の基礎の基礎【8】 ストラクチュアリング・アブレーション⑴

著者: 門屋 輝慶

4. ストラクチュアリング・アブレーション

長い間,レーザストラクチュアリングやレーザアブレーションという加工法は,ごく一部の人の間でしか関心が持たれなかった。しかしながら,微細加工という技術への要求の高まりとともに,レーザストラクチュアリングやアブレーションへの関心が一気に高まった。理由は簡単である。これらの加工法が,超精密微細加工を可能にしたからである。

図1 レーザストラクチュアリング
図1 レーザストラクチュアリング

ストラクチュアリング加工は,材料表面の技術的性質を特定の性質に変化させるために,材料表面にきちんと配列した形状を生成することができる。このようなストラクチュアリング加工では,一つの加工された箇所が,しばしば数ミクロン単位で測定される。

図2 レーザアブレーション
図2 レーザアブレーション

レーザアブレーションは,エレクトロニクスや半導体技術への応用と同様,工具や金型の製造にも採用される。例えば,射出成型では,プラスチックの部品を作るために樹脂が金型に射出されるが,レーザアブレーションによって,高精密3次元の金型を製造することができる。レーザは,また,金属の薄い膜を選択的に除去することができるので,電子部品の抵抗のトリミングや,各種部品をマーキングすることができる(図1)(図2)。

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