光響,極微細用UVレーザーマーカーを発売

光響は,UVレーザー光源を用いた「極微細用対物レンズ型UVレーザーマーカー」の販売を開始した(製品ページ)。

UVレーザー光をガルバノスキャナーを介して対物レンズで集光させることで,数μm以下のスポット径で任意形状の微細マーキング・微細領域の切断が行なえる。

これまで実現が困難であった,パターン・文字等の微細マーキングが各種素材で可能となる他,対物レンズユニットを取り外すことで300mm角エリアのマーキングもできるとしている。

主な用途として,ウエハー,エンジニアリングプラスチック,ゴム,エポキシ樹脂,ABS,セラミック,チタン等の各種素材への微細マーキング及び加工を想定しているという。

この製品の主な特長は以下の通り。
・回折限界に近い微小スポット0.48um~3.33um(レンズNAに依存)
・ガルバノスキャナーミラーによるレーザー制御(電動ステージ不要)
・パソコンソフトウェア上で目視及び同時加工

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