ニコンは，FPD露光装置の新製品「FX-68S」の販売を3月より開始する（ニュースリリース）。この製品は，スマートフォンに代表される，最先端の高機能モバイル機器用，高精細有機ELパネル及び液晶パネル製造に最適な露光装置。

スマートフォン等の高機能モバイル機器用パネルは高精細化の進展に伴い，より高解像度・高精度の第6世代プレートサイズに対応した露光装置が求められている。

この製品は，スキャナー方式により，生産性向上と高解像度・高精度アライメントを同時に実現，第6世代大型プレートによる最先端高精細中小型パネルの生産に対応した。

従来のマルチレンズシステムを継承するとともに，高解像度化のためにi線の投影レンズを新規に開発した。さらに大型プレートに対してマルチレンズの特性を生かし，プレート面の傾斜とその変化に対して焦点面を最適に追従させる補正システムを開発搭載した。これらにより第6世代プレートで1.5㎛（L/S）の高解像度での量産を可能とした。

また，位置計測の干渉計システムを新規設計し，計測精度と位置制御性能を上げることにより高精度アライメントを実現したほか，新規開発の投影レンズとステージにより，第6世代プレートで4スキャンを可能とし，高スループット（毎時78プレート）を実現した。