【リリース】アジレント・テクノロジー,半導体,誘電材料,太陽電池などの研究・開発向けに超低周波インピーダンス測定ソフトウェアを発表

2014年1月21日

アジレント・テクノロジー,半導体,誘電材料,太陽電池などの
研究・開発向けに超低周波インピーダンス測定ソフトウェアを発表

 アジレント・テクノロジー株式会社(社長:梅島 正明、本社:東京都八王子市高倉町 9 番 1 号)は、半導体の絶縁膜評価や、誘電材料や太陽電池などの評価向けに、「PX-X30 C10142A B2900A 用超低周波インピーダンス測定ソフトウェア」を開発したことを発表します。このソフトウェアは、「Agilent B2900A プレシジョン・ソース・メジャー・ユニット(SMU)」を用いて、低周波インピーダンスを測定するソフトウェアです。IV(電流-電圧)特性評価用の測定器である「B2900A シリーズ」1 台で、1 mHz(ミリヘルツ)から 1 kHz(キロヘルツ)の低周波インピーダンス測定に対応できるようになります。

今回発表のソフトウェアでは、「B2900A シリーズ」(B2902A または B2912A)を制御し、交流信号を印加して電流/電圧の測定を行うことで、交流インピーダンスを測定します。微小電流測定で利点のある SMU を用いるため、一般のインピーダンス測定器では難しい 1 GΩ(ギガオーム)を超えるような高インピーダンス測定が可能となります。主に半導体の絶縁膜評価で用いられる DC バイアス掃引測定のほか、一般のインピーダンス測定器で採用されている周波数掃引測定機能も実装しています。また、Cole-Cole プロットなど、電気化学インピーダンス測定で用いられる測定にも対応しています。

半導体の絶縁膜評価では、欠陥準位の評価のために超低周波静電容量測定による評価が行われています。また、誘電材料や電池の評価では低周波インピーダンス測定が用いられています。一般に、低周波向けのインピーダンス測定器は高価であるほか、1 GΩを超えるような高インピーダンス測定の場合には、独自に測定システムを構築する必要がありました。当社では、低価格の SMU を活用して、低価格で超低周波インピーダンス測定を実現できるソフトウェアを開発しました。

主な特長
*広いインピーダンス測定範囲
電流/電圧測定レンジが広い SMU を用いた測定原理により、1 Ω以下から 1 TΩ(テラオーム)超まで幅広いインピーダンスの測定が可能です。一般のインピーダンス測定器では難しい超低周波の静電容量特性にも対応します。

*低価格で超低周波インピーダンス測定を実現
従来、高額な測定システムや、独自システムの構築の必要があった超低周波インピーダンス測定を低価格で実現しています。

*1 台の測定器で、IV 測定とインピーダンス測定の両方に対応
「B2900A シリーズ」1 台で、半導体デバイスや電子材料の基本測定である IV測定とインピーダンス測定の両方に対応できます。特に、有機デバイスなど、応答の遅いデバイスの評価に最適です。

「PX-X30 C10142A B2900A 用超低周波インピーダンス測定ソフトウェア」は、アジレント・テクノロジー株式会社 本社・八王子事業所内にある電子計測本部アプリケーション・エンジニアリング部で開発したものです。

販売価格等

*販売価格(発表日時点での税抜き参考価格です):
PX-X30 C10142A B2900A 用超低周波インピーダンス測定ソフトウェア

※このほかに、「Agilent B2900A プレシジョン・ソース・メジャー・ユニット」(B2902A または B2912A)が必要となります。
※有料のスタートアップ・アシスタンス(取り扱い説明)も提供しています。

*販売・出荷開始日: 2014 年 1 月 21 日

アジレント・テクノロジーについて
アジレント・テクノロジー(NYSE:A)は、化学分析、ライフサイエンス、診断、エレクトロニクス、コミュニケーション市場における世界のプレミア・メジャメント・カンパニーであり、またテクノロジー・リーダーでもあります。
20,600 名の従業員を擁し、100 カ国以上でビジネスを展開しています。アジレントは、2013 年度、68 億ドルの売上高を達成しました。アジレント・テクノロジーの情報は、以下のウェブサイトでご覧ください。
http://www.agilent.co.jp

2013 年 9 月 19 日、当社は、電子計測会社を非課税のスピンオフ手続きにより、自社を株式公開会社 2 社に分割する計画であることを発表しました。電子計測新会社の名称は Keysight Technologies です。この会社分割は 2014 年 11 月初旬までに完了見込みです。

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