Micro-Epsilon,静電容量変位センサーを発売

Micro-Epsilon Japanは新製品の静電容量変位センサー「capaNCDTフラットセンサシリーズ」の販売を開始する(製品ページ)。

同シリーズは信頼性と低ノイズで定評が高く,その安定した計測でASML,Zeiss等多くの半導体製造装置メーカーに採用され,ナノメーターの領域で測長のソ
リューションを提供しているという。

同社開発のガードリング構造をセンサー部に採用することにより,高い精度,リニアリティを実現している。同様の構造をフラット形状にも採用することにより,高い精度を持ちながら組込を容易にした。

また,同シリーズは超高真空,-270℃から200℃という幅広い温度環境にも対応しており,真空チャンバー内や,クライオスタッド,アウトガスを嫌うDUV,EUVの装置内で採用が進んでいるという。

同社では幅広いスタンダード品と並び,数多くのカスタム品も顧客の要望に合わせて開発を行なっている。

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