光響,UVレーザークリーナーを発売

光響は,UVレーザー光源を用いた「UVレーザークリーナー」の販売を開始した(ニュースリリース)。

同社はこれまで「UVレーザーマーカーキット」及び「極微細用対物レンズ型UVレーザーマーカー」の製品化を通じ,UVレーザー製品の開発ノウハウを高めてきたが,その技術を新たにレーザークリーナーへ応用し製品化したという。

UVレーザーは光子エネルギーが高く,被照射面で分子結合が直接解離する光分解加工を起こす。この製品は,この光分解加工原理を用いた汚れ除去が特長の一つで,熱分解加工と比べ,表面の汚れ加工残渣を少なくシャープに仕上げ,母材へのダメージを最小限に抑えることが可能だとしている。

また,ガルバノスキャナーを介した対物レンズの集光で,数μm以下の微細スポット径を形成し,ピンポイントで限定的なクリーニングも可能。対物レンズユニットを取り外すことで,300mm角エリア迄のクリーニングもできるという。

この製品の主な特長は以下のとおり。
・光分解加工により,母材ダメージ及び汚れ残渣を軽減
・レンズを選択することで,微少・広域クリーニングが可能
・回折限界に近い微小ビームスポット径0.48μm(NA0.9の対物レンズ使用時)
・ガルバノスキャナーミラーによる高速レーザークリーニング(電動ステージ不要)
・パソコンソフトウェア上で観察しながらのリアルタイムモニタリング加工

この製品の主な用途は以下のとおり。
・金属,半導体,無機物質上の有機物(油,レジスト等),有機絶縁膜,紫外線分解後の物質汚れ除去等

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