コヒレント・ジャパン,低コスト/高パフォーマンスの全固体パルスUVレーザを発売

コヒレント・ジャパンは,マイクロエレクトロニクス・パッケージング用途で実績のあるAVIAシリーズ(全固体Qスイッチパルスレーザ)に経済性と信頼性及び使い易さを兼ね備えた最新モデルAVIA NX(波長:355nm,最大出力:40W)をラインアップした(ニュースリリース)。

この新型モデルは,他のモデルよりもW(出力)あたりのコスト低減を実現し,また,同出力レベルのUVレーザと比較し,小型かつ軽量で,堅牢な設計となっている。

この新製品は,コヒレントが特許を持つNd:YVO4利得媒質に対する独自の励起手法を採用することで,システム全体の光変換効率の向上を行なった。また,PermAlign 2と名付けられた独自の最新光学マウント技術の採用により,構造をシンプルかつ小サイズ化し,高安定性と長期間の高信頼性を実現した。

加えて,新世代の電気コンポーネントを用いることで,レーザヘッド内に一体化でき,小型で信頼性の高い製品デザインを可能にした。さらに,その信頼性は,AVIA NXの製品工程に,高加速寿命試験(HALT)や,加速ストレス性能試験(HASS)を導入することで向上されている。

AVIA NXシリーズは,PCBビアホール穴あけ,フレックス材料の穴あけ/切断,3D ICチップ製造,ICチップパッケージトリミング,SiP(System in Package)製造に関連する加工応用など,マイクロエレクトロニクス製造やパッケージングの材料加工用途に適している。

主な仕様は,
・出力:10W,20W,40W
・波長:355nm
・繰返周波数:~300kHz
・パルス幅:< 35ns@130kHz,< 30ns@100kHz 想定するアプリケーションとして, ・PCBビアホール穴あけ ・フレックス材料の穴あけ/切断 ・3D ICチップ製造 ・ICチップパッケージトリミング ・SiP(System in Package)製造に関連する加工応用 などがある。