オリンパス,半導体部品や電子部品向け測定顕微鏡を発売

オリンパスは,科学事業の新製品として,製造工程における加工部品や半導体部品,電子部品の形状測定を効率的に行なえる測定顕微鏡「STM7」を,2014年11月4日から世界で順次発売する(ニュースリリース)。

測定顕微鏡は,非接触の形状測定と金属顕微鏡による観察が1台で行なえる光学機器。従来の加工部品の測定に加え,近年増加傾向にある携帯機器の半導体部品など,様々な部品の製造・組み立て現場で,対象物を傷つけずに,効率的な測定を可能にする。

今回発売する「STM7」は,ステージを従来の250mm×150mmから300mm×300mmの大型で正方形のタイプにした。これにより,半導体の300mmウエハやプリント基板などの大型の対象物(サンプル)も向きを変えずに測定することが可能。また小型のサンプルは複数同時にステージに置けるので,効率的な測定ができる。

さらに,本体台座に高剛性かつ高耐震性が特長の石定盤(花崗岩)を採用し,長期使用と安定した測定を可能にした。また,測定支援ソフトウエアと顕微鏡用デジタルカメラの併用により,簡単な操作で,複雑な形状の測定を正確に行なうことができる。最小分解能は0.1µmとなっている。