エドモンド・オプティクス・ジャパン,10Å未満の面粗さを持つ合成石英製ウェハを発売

エドモンド・オプティクス・ジャパンは,合成石英製ウェハの発売を開始した(ニュースリリース)。この多目的ウェハは,UVグレード合成石英ガラスの薄い円盤状の部品で,オプティカルコーティングの品質を測るためのテスト基板として使用するためにデザインされている。

合成石英製ウェハはまた,セットアップ工程用,或いは半導体,マイクロリソグラフィ,或いはマイクロエレクトロオプティカルアプリケーション(MEMS)用のダミー部品としての使用にも優れている。

この合成石英製ウェハは,10Å未満の面粗さと,40-20の表面品質(キズ-ブツ)で規格化。超音波洗浄されており,高品質を保つためにコンタミ・フリーのパッケージで納入される。直径は100mm,200mm,300mmの各サイズをラインナップ。RoHSに適合しており,1.00mmの板厚と0.2~2.2μmの透過波長を備えている。