ギガフォトン,EUV光源において出力92Wを発光効率4.2%で達成

ギガフォトンは,現在開発中のEUVスキャナ用レーザ生成プラズマ(LPP)光源のプロトタイプにおいて,最大出力92Wを発光効率(CE)4.2%で達成することに成功したと発表した(ニュースリリース)。

このプロトタイプLPP光源は,20µmのすず(Sn)ドロップレットを,固体レーザによるプリパルスとCO2レーザによるメインパルスで照射することでEUVを発光させ,また,高出力な超電導磁石とH2ガスを用いたSnエッチングを組み合わせることで,照射によるSnデブリの発生を抑制している。

また,コレクターミラーの寿命を最大限に延ばすために,超伝導磁石で強力な磁場を発生させ,すずドロップレットの熱膨張から発生する不要なデブリを,スズキャッチャーへ導いて除去している。

今後,同社では量産対応EUVスキャナの実現に向けて,2014年末までに150 Wの出力,最終的には250 Wを目指す。

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