日本レーザー,6ps未満の超短パルス産業用途ピコ秒レーザを発売

日本レーザーは,独国Xiton Photonics社の産業用途ピコ秒レーザ「PIXIEシリーズ」の販売を開始した(プレスリリース)。概算価格は約2340万円~。

PIXIEシリーズは,産業用途のモードロックピコ秒レーザ。基本波1342nmに加え,周波数変換オプションにより671nm,447nm出力モデルも提供可能。6ps未満の超短パルスで,熱に弱い素材への非加熱加工に最適。また連続運転に耐える高い信頼性と長寿命を保証する産業グレード・システムとなっている。

想定する用途として,シリコン・ウエハを透過させる薄膜アブレーションや,OLEDの加工等 フラットパネルディスプレイ製造分野に適している。

主な仕様は以下の通り。

モデル Pixie Pixie-S Pixie-T
波長
平均出力
パルス幅
パルスエネルギー
繰返し周波数
M2
1342 nm
1.8   W
<   6 ps
12   nJ
143   MHz
<   1.3
641   nm
0.7   W
<   6 ps
4.5   nJ
143   MHz
<   1.3
447   nm
0.5   W
<   6 ps
3.5   nJ
143   MHz
<   1.3