ニコン,ArF液浸スキャナ「NSR-S630D」の受注を開始

ニコンは,2014年4月よりArF液浸スキャナ「NSR-S630D」の受注を開始する。この新型露光装置は,さらなる高精度と生産性を両立させたもので,10nm台のマルチプルパターニングに対応する。

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新型露光装置にはウェハステージ位置計測へのエンコーダと干渉計を組み合わせたハイブリッドシステムに加え,レクチルステージ位置計測に2次元エンコーダを採用。各ステージの位置計測の空気揺らぎの影響を低減させることにより,重ね合わせ精度をより向上させた。

また、FIA(フィールド画Alignment)の5眼化により,短時間でのアライメント計測を可能にし,全ショットに近い多点計測時でもスループットの低下を最小限に抑制する。主な仕様は解像度38nm以下,NA1.35,縮小倍率1/4倍,最大露光領域26×33mm,SMO時の重ね合わせ精度1.7nm以下,MMO時の重ね合わせ精度2.5nm以下,スループットは250枚以上(300mmウェハ毎時,96ショット)。

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