キヤノン,米ナノインプリント企業を買収

キヤノンは,米国のモレキュラーインプリント社(Molecular Imprints, Inc. 以下「MII」)を連結子会社化すると発表した。

MIIは高解像度,低コストのナノパターニング・システムおよびソリューションを開発しており,4年前よりキヤノンと業務提携している。同社はナノインプリント技術「Jet and Flash Imprint Lithography」(J-FIL)を有し,サブ20nm解像度まで拡張可能なナノインプリントソリューションを提供する。J-FILを使った最初の製品は,2年間以内にフラッシュメモリに採用される予定。

一方キヤノンは,KrFエキシマレーザーおよびi線を光源とする半導体露光装置,合計7機種を生産・販売しているが,これまで先端微細領域の露光装置市場には参入できていなかった。

今回,J-FILを使った半導体露光装置の本格的な量産に一定の見通しがついたことから,この技術に関する特許登録件数と技術力で世界トップレベルにあるMIIをキヤノングループに迎え入れる。これにより微細化を実現する次世代半導体露光装置の開発を加速させ,早期の市場導入を目指す。

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