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キヤノン,4台をクラスター化した半導体製造用ナノインプリント装置を2016年にも量産へ

キヤノン,4台をクラスター化した半導体製造用ナノインプリント装置を2016年にも量産へ

キヤノンは,4台の半導体製造用ナノインプリント装置をクラスター化したシステムを2016年にも量産することを,第62回応用物理学会春季学術講演会(講演番号12p-C3-4)で明らかにした。   同社は,2004年 […]
スペクトロニクス,高出力ピコ秒レーザ発振器の研究・開発を強化

スペクトロニクス,高出力ピコ秒レーザ発振器の研究・開発を強化

スペクトロニクスは,産業革新機構より5億円の出資を受け,レーザ発振器と加工用光学系の製造販売事業を拡大させる(ニュースリリース)。 同社が開発しているのはピコ秒レーザで,パルス幅50psを中心とする製品をラインナップ。欧 […]