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東海光学,ハイパワーNd:YAGレーザ用ミラーなど成膜後の面精度を保証する技術を確立

東海光学,ハイパワーNd:YAGレーザ用ミラーなど成膜後の面精度を保証する技術を確立

東海光学は,ハイパワーNd:YAGレーザ用のガルバノミラーや干渉計測機器向けミラーの成膜後の面精度を保証する技術を確立した。 従来から,基板に膜を成膜すると膜応力によって表面が変形することが知られている。こうした応力によ […]