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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]
NIMS,2次元物質の短時間・稠密製法を開発

NIMS,2次元物質の短時間・稠密製法を開発

物質・材料研究機構(NIMS)の研究グループは,酸化物ナノシートやグラフェンなどの2次元物質を,1分程度の短時間で基板上に隙間なく単層で配列する新技術を開発した(ニュースリリース)。 グラフェンや酸化物ナノシートなどに代 […]