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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]
キヤノン,4台をクラスター化した半導体製造用ナノインプリント装置を2016年にも量産へ

キヤノン,4台をクラスター化した半導体製造用ナノインプリント装置を2016年にも量産へ

キヤノンは,4台の半導体製造用ナノインプリント装置をクラスター化したシステムを2016年にも量産することを,第62回応用物理学会春季学術講演会(講演番号12p-C3-4)で明らかにした。   同社は,2004年 […]